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텅스텐 (VI) 불소

텅스텐 또한 텅스텐 헥사 플루오 라이드로 알려진 (VI), 불화는 화학식 WF6 텅스텐 및 불소의 무기 화합물이다. 이 부식성, 무색의 화합물은 약 13g / L의 밀도로, 표준 조건 하에서 기체 (약 11 배 공기보다 무거워.), WF6는 표준 조건에서 가장 무거운 알려진 가스 중 하나입니다. WF6 가스는 가장 일반적으로 화학 기상 증착 공정을 통해 반도체 회로 및 회로 기판의 제조에 사용된다 - 분해시, WF6의 분자는 금속 텅스텐 남지. 이 층은 낮은 저항 금속 & quot 제공, 상호 연결 & quot을;.

등록
주위 압력 및 17 ° C 이상의 온도에서, 육 불화 텅스텐을 무색 반자성 가스이다. WF6 분자는 아의 대칭 지점 그룹 면체이다. W-F 결합 거리는 183.2 오후입니다. C 2.3 내지 17 °, 텅스텐 헥사 플루오 라이드는 15 ℃에서 3.44 g / cm3의 밀도를 갖는 담황색 액체로 응축된다. 2.3 ° C로 이는 백색 고체가 입방 결정 구조, PM (628)의 격자 상수와 산출 된 밀도 3.99 g / cm3를 갖는로 동결. 시 -9이 구조는 = 960.3 오후, B = 871.3 오후, 및 C = 504.4 오후의 격자 상수 및 4.56의 G / cm3의 밀도와 사방 고체로 변환 ° C ~. 이 단계에서는, W-F 거리는 181 PM이고, 평균 가까운 분자간 312 PM이다. WF6 가스 반면에, 무거운 가스의 하나 인 밀도 무거운 원소 가스 라돈 (9.73 G / L)의 초과, 액체 및 고체 상태에서 WF6의 밀도는 오히려 온건하다. -70 ° C에서 17 ° C 사이의 WF6의 증기 압력은 수학 식에 의해 설명 될 수 있습니다.

log10 P = 4.55569 − (1021.208 / (T + 208.45)),
여기서 P = 증기 압력 (Bar), 온도 (℃).

합성
텅스텐 헥사 플루오 라이드는 일반적으로 350 내지 400 ° C 사이의 온도에서의 텅스텐 분말과 불소 가스의 발열 반응에 의해 제조된다 :

W + 3 F2 → WF6
가스 제품은 응축 WOF4, 공통의 불순물로부터 증류에 의해 분리된다.직접 불소화에 변형에서, 금속은 불소 가스를 소량 주입 WF6의 일정한 흐름으로 약간 2.0 PSI (8.3 kPa로 13.8) 1.2로 가압, 가열 된 반응기에 위치된다.

상기 방법에서, 불소 가스는 CLF, ClF3 또는 BrF3 의해 치환 될 수있다. 불화 텅스텐 제조 대안 절차는 HF, 또는 BrF3 SF4와 삼산화 텅스텐 (WO3)을 반응시키는 것이다. 불화 텅스텐은 육 염화 텅스텐의 변환에 의해 얻을 수있다:

WCl6 + 6 HF → WF6 + 6 HCl or
WCl6 + 2 AsF3 → WF6 + 2 AsCl3 or
WCl6 + 3 SbF5 → WF6 + 3 SbF3Cl2
반응
물과 접촉시에, 육 불화 텅스텐 결국 삼산화 텅스텐을 형성하는 불화 수소 (HF) 및 텅스텐 옥시 플루오 라이드를 준다:

WF6 + 3 H2O → WO3 + 6 HF
다른 금속 불화물과는 달리, WF6 유용한 플루오르 화제하지 않으며 강력한 산화제이다. 이것은 황색 WF4로 감소 될 수있다.